長(zhǎng)度約6.8米氮?dú)饧兓痔紫湓O(shè)備

l  設(shè)備組成：包括不限于手套箱主體、可拆卸帶手套的可視安全玻璃視窗、過渡艙、氮?dú)庋h(huán)凈化系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、PLC控制顯示操作系統(tǒng)、儲(chǔ)物支架等

2.手套箱主體規(guī)格

l  手套箱主體尺寸規(guī)格：長(zhǎng)度約6.8米(實(shí)際長(zhǎng)度以量測(cè)為準(zhǔn))；寬度約1米(實(shí)際寬度以手套箱內(nèi)部設(shè)備尺寸位置)，高度不能不超過2米；與真空腔室對(duì)接的手套箱尺寸長(zhǎng)度約1.3米；

主體材質(zhì)： 不銹鋼；

l  安全觀察窗：配合操作，需要搭配多個(gè)安全觀察窗，安全觀察窗材質(zhì)鋼化玻璃；

l  安全觀察窗手套接口規(guī)格：數(shù)量以方便操作為主，接口需潤(rùn)滑性好、易于維護(hù)、密封性能好；

l  手套材質(zhì)：丁基橡膠；數(shù)量以實(shí)際需求為主；

l  照明系統(tǒng)：為便于工作，手套箱內(nèi)需有照明系統(tǒng)；

l  電源接口：為便于后期使用，手套箱內(nèi)需預(yù)留電源接口；

l  壓力計(jì)：實(shí)時(shí)監(jiān)控手套箱內(nèi)壓力；

l  儲(chǔ)物架：普通位置至少2層的擱置物品的支架，材質(zhì)不銹鋼；儲(chǔ)物架可拆卸，不需要的手套箱可以拆卸掉；另外，在連接G13前端的位置處要有8個(gè)可以暫放基板框架的儲(chǔ)存架，儲(chǔ)存架長(zhǎng)寬約35cm*35cm；(細(xì)節(jié)需要討論)

l  預(yù)留KF40標(biāo)準(zhǔn)接口：每個(gè)工位預(yù)留不少于3個(gè)；

l  設(shè)備顏色：油漆部分不能有脫落、污漬；

l  不銹鋼支架：帶便于推動(dòng)的萬向輪，有調(diào)節(jié)水平的腳座；

l  備件：5雙備用手套；

l  過渡倉(cāng)規(guī)格：按照實(shí)際需求，設(shè)計(jì)大小過渡倉(cāng)，過渡艙帶壓力表、進(jìn)出氣接口等；過渡艙與手套箱焊接必須密封；

l  對(duì)接規(guī)格：(如示意圖)

a.手套箱需要與前端G11設(shè)備的loadlock-1進(jìn)行對(duì)接，此處我方無圖紙，需要手套箱廠商根據(jù)實(shí)物自行設(shè)計(jì)圖紙并完成對(duì)接方案；LL-1處已有手套箱，手套箱內(nèi)有3臺(tái)設(shè)備，舊手套箱拆除后，內(nèi)部3臺(tái)設(shè)備需要保留，保留的設(shè)備要放入新手套箱內(nèi)，屆時(shí)中標(biāo)的新手套箱廠商要負(fù)責(zé)3臺(tái)設(shè)備的移入和對(duì)接(如管路、線路、信號(hào)等)；

b.手套箱需要與后端G13設(shè)備的loadlock-3進(jìn)行對(duì)接，此處我方有圖紙，需要手套箱廠商根據(jù)實(shí)物和圖紙完成對(duì)接方案；另，LL-3處有傳送基板的滾輪，手套箱廠商需要根據(jù)LL-3的需求，預(yù)留按照滾輪的位置和空間；

c.手套箱中間部位需要外接真空設(shè)備的loadlock-2，手套箱廠商需要配合真空設(shè)備的法蘭或閘閥完成對(duì)接方案；

d.手套箱前后對(duì)接的G11設(shè)備和G13設(shè)備已經(jīng)固定，手套箱廠商需要根據(jù)實(shí)際狀況自行設(shè)計(jì)方案，在不移動(dòng)設(shè)備的前提下完成設(shè)備對(duì)接；真空設(shè)備目前采購(gòu)中，會(huì)從示意圖loadlock-2位置進(jìn)行對(duì)接，手套箱廠商要配合真空設(shè)備完成loadlock-2的對(duì)接；

e.手套箱的主要責(zé)任區(qū)域?yàn)槿缦聢D中的黃色標(biāo)識(shí)區(qū)域。